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MOS试剂

0人阅读 0人评论 收藏 2017/1/2 0:00:00 作者: 未知 来源: 互联网

英文名：		 MOS试剂
用途： 一类生产金属氧化物半导体电路专用的化学品，是一种高纯试剂。主要用于大规模、超大规模集成电路的研究和生产。
备注： 其纯度要求单项金属离子杂质含量均在1E-7%~1E-9%范围内。而更重要的是控制产品内微粒杂质（即尘埃和不溶颗粒）的个数，应当符合美国材料试验学会（ASTM）“0”级标准，即对5-10微米大小的颗粒。每100毫升中最大允许在2700个以下，而对5微米大小的颗粒，要求在304个以下。
关键字：mos 试剂
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