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二氯硅烷

0人阅读 0人评论 收藏 2017/1/2 0:00:00 作者: 未知 来源: 互联网

英文名：		 二氯硅烷
分子式： SiH2Cl2
分子量： 101.01
熔点： -122
沸点： 8.3
密度： 气体密度4.599g/L；液体相对密度1.42（-122℃）
性状： 常温常压下为无色气体，市售品为装在容器中的无色透明液体（压力0.03～0.18MPa）。
用途： 主要用作半导体外延材料；化学蒸镀用气源。
制备： （1）硅和盐酸蒸气反应；（2）四氯化硅和甲醛反应。
备注： 在潮湿空气中可以水解，而产生白色氯化氢烟雾。与空气形成爆炸混合物，爆炸极限4.1%～98.8%（体积分数）。能与格式试剂起反应。
关键字：硅烷
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